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ZEISS掃描電子顯微鏡常見成像故障排查與參數(shù)修正技術(shù)指南

ZEISS掃描電子顯微鏡(SEM)憑借高分辨率、高放大倍率的優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域,其成像質(zhì)量直接決定檢測分析結(jié)果的準確性。在長期實操中,成像模糊、噪點過多、亮度異常等故障頻發(fā),多由參數(shù)設(shè)置不合理、樣品制備不當或設(shè)備部件輕微異常導(dǎo)致。本文結(jié)合ZEISSSEM(Sigma系列、EVO10等主流機型)的結(jié)構(gòu)特點,梳理常見成像故障的排查思路與精準參數(shù)修正技術(shù),助力操作人員快速解決問題、提升檢測效率。一、常見成像故障排查要點ZEISSSEM成像故障排查需遵循“由簡到...

  • 2023

    12-20

    先前蔡司君介紹過第三代半導(dǎo)體晶圓位錯檢測和第三代半導(dǎo)體功率器件工藝分析的案例,各種顯微成像技術(shù)在晶圓缺陷密度統(tǒng)計和器件失效分析中發(fā)揮著重要作用。此外,襯底晶圓尺寸也是業(yè)界非常重視的一個方向,國際主流SiC廠商已經(jīng)進入了8英寸時代,國內(nèi)企業(yè)也在緊追不舍。由于化合物半導(dǎo)體晶圓成本相對較高,在不破壞整片晶圓的前提下使用電鏡完成常規(guī)檢測甚至失效分析能夠降低分析成本并提高檢測效率,因此是很多廠商尋求的方案。▲碳化硅襯底研發(fā)進展,圖片來源:Yole今天我們將給大家介紹蔡司的電鏡解決方案如...

  • 2023

    12-15

    在當今高度信息化的社會,半導(dǎo)體技術(shù)已經(jīng)成為支撐整個電子信息產(chǎn)業(yè)的重要基石。而在半導(dǎo)體技術(shù)中,對微電子元件的結(jié)構(gòu)和性能進行深入理解和分析,是提高半導(dǎo)體設(shè)備性能的關(guān)鍵。為此,需要借助一種強大的工具——半導(dǎo)體專用顯微鏡。半導(dǎo)體專用顯微鏡是一種高精度的光學(xué)儀器,能夠?qū)⑽㈦娮釉慕Y(jié)構(gòu)和性能以極其直觀的方式展現(xiàn)出來。通過對顯微鏡下的圖像進行深入解析,可以了解到微電子元件的制造工藝、材料特性、結(jié)構(gòu)組成以及潛在的缺陷等信息。1、從微電子元件的結(jié)構(gòu)談起。在顯微鏡下,可以看到元件的精細結(jié)構(gòu),包...

  • 2023

    12-6

    蔡司3D顯微鏡操作指南及圖像處理技巧一、操作指南1.開機與校準打開蔡司3D顯微鏡的電源,進行預(yù)熱。然后進行校準,確保顯微鏡處于較佳狀態(tài)。校準過程中,需根據(jù)提示進行焦距和光路的調(diào)整。2.樣本準備樣本需要放置在專用的載玻片上,并確保清潔。載玻片應(yīng)置于顯微鏡載物臺上。3.觀察與聚焦選擇合適的觀察模式,如明場、暗場或熒光等。然后,通過調(diào)節(jié)焦距和光源強度,使樣本清晰可見。對于3D成像,需要調(diào)整Z軸的掃描速度和精度。4.圖像獲取調(diào)整好觀察條件后,可以開始獲取圖像。支持實時捕獲和存儲圖像。...

  • 2023

    11-25

    體視顯微鏡的工作原理是利用光學(xué)原理,通過透鏡將物體放大,使其能夠被肉眼所觀察。體視顯微鏡的主要部分包括鏡頭、光源、鏡頭支架、樣品臺和目鏡。當光線通過透鏡時,會發(fā)生折射,使光線的方向發(fā)生改變。透鏡的形狀和曲率決定了光線的折射程度,從而影響了物體的放大倍數(shù)。當光線從樣品反射回來時,它會通過目鏡進入眼睛,使我們能夠觀察到樣品的細節(jié)。體視顯微鏡實質(zhì)上是兩個單鏡筒顯微鏡并列放置,兩個鏡筒的光軸構(gòu)成相當于人們用雙目觀察一個物體時所形成的視角,以此形成三維空間的立體視覺圖像。體視顯微鏡的調(diào)...

  • 2023

    11-16

    先進封裝技術(shù)給半導(dǎo)體行業(yè)帶來了變革,市場對更小、更快、更低能耗、更大算力的電子設(shè)備的需求驅(qū)動了近年來先進封裝的快速發(fā)展,它追求結(jié)構(gòu)的進一步微型化、更高集成度、更多功能性,以及更好的散熱控制。然而,這些先進性也給失效分析帶來了新的挑戰(zhàn)。失效分析在識別和理解先進封裝失效的根本原因中發(fā)揮了重要作用,這使廠商可采取適當?shù)母倪M措施以改善生產(chǎn)工藝、設(shè)計優(yōu)化、材料選擇,對提升良率、可靠性和產(chǎn)品性能非常關(guān)鍵。失效分析同時也可優(yōu)化測試和生產(chǎn)流程,減少返工和報廢,對成本減低做出重要貢獻。▲當前先...

  • 2023

    11-12

    蔡司體視顯微鏡是一種高級顯微鏡,常用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究和實驗。具有高質(zhì)量的成像效果,能夠提供高清晰度、高對比度的圖像,幫助研究人員更好地觀察和分析樣本。蔡司體視顯微鏡的構(gòu)造和原理比較復(fù)雜,但可以簡單理解為通過光學(xué)系統(tǒng)將樣本放大,然后通過目鏡或攝像頭將圖像顯示在屏幕上或拍攝下來。光學(xué)系統(tǒng)采用了多種高級技術(shù),如消色差技術(shù)、復(fù)消色差技術(shù)、軸向色差補償?shù)龋軌蛴行У叵詈褪д妫岣邎D像的清晰度和對比度。該顯微鏡的使用需要一定的技巧和經(jīng)驗,使用者需要根據(jù)不同的樣本...

  • 2023

    11-7

    電池模組的質(zhì)量解決方案對電池樣品進行掃描和評估時應(yīng)防止它們暴露于空氣中,高質(zhì)量的顯微鏡解決方案必須能夠生成材料微觀結(jié)構(gòu)的詳細可視化信息,從而準確了解電池失效的可能性。針對雜質(zhì)顆粒進行檢測對于防止污染而言也至關(guān)重要。成品電池電芯和模組進行無損檢測具有挑戰(zhàn)性,因為只有穿透強度足夠高的X射線技術(shù)才能清楚快速地檢測到內(nèi)部缺陷。針對電池開發(fā)和生產(chǎn)的所有不同階段都可以依賴一套強大的質(zhì)量保證解決方案。ZEISSVoluMax9titan具有強大的穿透力,不會忽略成品模組組件缺陷。從原料到成...

  • 2023

    11-7

    (圖源自蔡司)渦輪葉片制造是航空航天領(lǐng)域具有挑戰(zhàn)性的工藝之一,對于葉片能夠承受惡劣的高溫環(huán)境和苛刻的發(fā)動機循環(huán)來說是必要的。此外,飛機發(fā)動機制造商必須能夠證明遵守嚴格的質(zhì)量法規(guī),以確保這些葉片不會出現(xiàn)故障。(圖源自網(wǎng)絡(luò))蔡司工業(yè)質(zhì)量解決方案部X射線產(chǎn)品銷售經(jīng)理BenediktKrist表示:“如今,渦輪葉片制造是一個復(fù)雜的過程,其中包含許多手動流程步驟。發(fā)動機中有數(shù)百個葉片,計算機斷層掃描[CT]具有巨大的潛力,可以節(jié)省生產(chǎn)時間和成本,同時減少浪費。”渦輪葉片的鑄造涉及幾個步...

  • 2023

    11-6

    蔡司金相顯微鏡采用了光學(xué)技術(shù)和計算機技術(shù),能夠?qū)⒂^察對象的細節(jié)和特征以較高的分辨率呈現(xiàn)出來,同時還具有出色的穩(wěn)定性和耐用性。無論是在科研實驗室、工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場還是醫(yī)學(xué)診斷室,都能夠提供可靠的觀察和分析結(jié)果。蔡司金相顯微鏡主要用于金相顯微學(xué)領(lǐng)域的材料分析和金屬組織觀察。它具有以下優(yōu)點:1.高分辨率和清晰度:采用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)系統(tǒng),配備高性能的物鏡和眼鏡,能夠提供高分辨率和清晰度的圖像,使用戶能夠觀察到細微的結(jié)構(gòu)和細節(jié)。2.耐用性和穩(wěn)定性:采用堅固的結(jié)構(gòu)設(shè)計和高品質(zhì)的材料制造,具有良好...

  • 2023

    10-30

    共聚焦顯微鏡是一種光學(xué)成像技術(shù),它通過使用空間針孔來阻擋散焦光,以提高顯微圖像的光學(xué)分辨率和對比度。它主要用于各種類型的樣品表面層的光學(xué)特性進行微觀成像,如材料、生物醫(yī)學(xué)、物理化學(xué)等領(lǐng)域。可以對樣品表面進行高精度的測量,包括表面粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓等參數(shù),常用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。共聚焦顯微鏡的結(jié)構(gòu)分析:1.激光器:共聚焦顯微鏡使用激光器作為光源,通常使用氬離子激光器或鈦寶石激光器。激光器產(chǎn)生的光束經(jīng)過準直器和偏振器后,進入掃描頭。2.掃描頭:掃描頭是共聚焦顯微...

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